目前,我國傳感器行業規模較小,應用范圍較窄。為此,我們必須轉變觀念,將傳感器的研發由單一物性型傳感器的研發,轉化為高度集成的新型傳感器研發。新型傳感器的開發和應用已成為現代系統的核心和關鍵,它將成為21世紀信息產業新的經濟增長點。
我國早在20世紀60年代就開始涉足傳感器制造業。我國在1972年組建成立中國第一批壓阻傳感器研制生產單位;1974年,研制成功中國第一個實用壓阻式壓力傳感器;1978年,誕生中國第一個固態壓阻加速度傳感器;1982年,國內最早開始硅微機械系統(MEMS)加工技術和SOI(絕緣體上硅)技術的研究。
進入20世紀90年代后,硅微機械加工技術的絕對壓力傳感器、微壓傳感器、呼吸機壓傳感器、多晶硅壓力傳感器、低成本TO-8封裝壓力傳感器等相繼問世并實現生產。改革開放30年來,我國傳感器技術及其產業取得了長足進步,主要表現在:建立了傳感技術國家重點實驗室、微米/納米國家重點實驗室、國家傳感技術工程中心等研究開發基地;MEMS、MOEMS(微光機電系統)等研究項目列入了國家高新技術發展重點;在“九五”國家重點科技攻關項目中,傳感器技術研究取得了51個品種86個規格新產品的成績,初步建立了敏感元件與傳感器產業;2007年傳感器業總產量達到20.93億只,品種規格已有近6000種,并已在國民經濟各部門和國防建設中得到一定應用。
幾十年來,微電子技術促進了傳感器技術的發展。未來10年~20年,傳統硅技術將進入成熟期(預計在2014年~2017年)。從總體發展看,傳統硅技術市場將一直延續到2047年(即晶體管發明100周年)才趨于飽和(即達到芯片特征尺寸的極限)并衰退。而當前微電子技術仍將依循“等縮比原理”和“摩爾定律”兩條基礎定律走下去,在逼近傳統硅技術極限中,不斷擴展硅的跨學科橫向應用(如MEMS等)和更先進應用(量子、分子器件)。而上述微電子技術的兩大發展方向正是當前乃至未來20年傳感器技術的主要發展方向。
(審核編輯: 林靜)
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