日前，格創(chuàng)東智在短短15天內(nèi)成功交付首臺(tái)Stocker晶圓存儲(chǔ)立庫(kù)，助力頭部12吋晶圓廠實(shí)現(xiàn)高效自動(dòng)化物料存儲(chǔ)擴(kuò)展的需求。這一成就不僅是公司業(yè)務(wù)的一次前進(jìn)，更是國(guó)內(nèi)AMHS技術(shù)發(fā)展的一次重要突破。

FAB廠物料存儲(chǔ)Stocker，專為FOUP/SMIF Pod等多種載具的存儲(chǔ)與搬運(yùn)，其可根據(jù)客戶現(xiàn)場(chǎng)空間及其他特色需求提供定制化服務(wù)，以最大限度利用FAB廠空間。搭載智能儲(chǔ)位管理系統(tǒng)的Stocker，在FAB廠減少出庫(kù)時(shí)間，提高搬送效率方面發(fā)揮著重要作用，為工廠實(shí)現(xiàn)Fully Auto提供重要支持。格創(chuàng)東智自主研發(fā)的Stocker產(chǎn)品線，除FOUP Stocker外，還包括國(guó)內(nèi)首研的Tower Stocker，自2022年起已陸續(xù)交付客戶，全面覆蓋8吋、12吋料盒的存儲(chǔ)使用場(chǎng)景。

對(duì)于FAB廠Stocker而言，存儲(chǔ)只是基礎(chǔ)需求。與AMHS上位系統(tǒng)進(jìn)行實(shí)時(shí)通訊，實(shí)現(xiàn)MCS帳料自動(dòng)管理，減少搬運(yùn)擁堵，確保機(jī)臺(tái)排產(chǎn)高效，是客戶的高階追求。

眾所周知，AMHS主要由OHT空中搬運(yùn)小車、Stocker晶圓存儲(chǔ)立庫(kù)、MCS/OHTC/STKC等軟件系統(tǒng)組成。其中OHT作為技術(shù)最復(fù)雜的部分，其在不同F(xiàn)AB廠的需求也不盡相同，當(dāng)前主流8吋晶圓廠的物料搬運(yùn)系統(tǒng)因軌道岔路的數(shù)量和類型相對(duì)較少，搬運(yùn)效率相對(duì)較低。而12吋晶圓廠軌道布局極其復(fù)雜，包含各類岔路、彎軌、高低軌道和升降裝置；且因產(chǎn)能提升，對(duì)搬運(yùn)速率的要求更高，需要配置更多的傳感器、激光雷達(dá)等產(chǎn)品與控制系統(tǒng)；同時(shí)OHT的調(diào)度算法也更為復(fù)雜，軟件迭代速度需緊跟客戶需求。

對(duì)此，格創(chuàng)東智AMHS產(chǎn)品負(fù)責(zé)人指出，公司在不同晶圓廠的Demo Line驗(yàn)證時(shí)，已提前考慮市場(chǎng)需求，在性能、穩(wěn)定性及軟件功能等方面持續(xù)開展了大量?jī)?yōu)化迭代工作。為了更好地助力客戶成功，格創(chuàng)東智不斷迭代“AI+工業(yè)軟件+裝備智能”三大核心能力，加速軟硬件能力的整合。公司自主研發(fā)的OHT天車，涵蓋前道6吋/8吋SMIF Pod和12吋FOUP，后道Magazine，滿足不同工序工廠的載具搬運(yùn)需求；并提供多種軌道模組，滿足12吋晶圓廠復(fù)雜的Layout需求；在OHT設(shè)備與人員高效協(xié)作方面，通過11種安全防護(hù)傳感器，有效識(shí)別與自動(dòng)預(yù)警天車速度、障礙躲避、碰撞檢知、料盒斷裂、升降晃動(dòng)、硅片墜落、料盒位置等運(yùn)行狀況，打造高效的自動(dòng)化、潔凈化、低震動(dòng)化的物流自動(dòng)搬運(yùn)方式。此外，格創(chuàng)東智通過設(shè)備、軟件、算法和應(yīng)用多維度自主研發(fā)成果結(jié)合，助力客戶業(yè)務(wù)成功，提供AMHS在調(diào)度層、控制層、設(shè)備層的全棧化產(chǎn)品，釋放客戶生產(chǎn)的無限可能。

依照摩爾定律，半導(dǎo)體行業(yè)呈現(xiàn)產(chǎn)品升級(jí)迭代快、性能持續(xù)提升、成本持續(xù)下降、制程不斷縮小的發(fā)展趨勢(shì)。而AMHS的技術(shù)發(fā)展方向與半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的未來走勢(shì)密切相關(guān)。格創(chuàng)東智作為堅(jiān)持自主研發(fā)AMHS整套自動(dòng)化軟硬件、設(shè)備零部件及改造解決方案的先驅(qū)企業(yè)，堅(jiān)信只有自主研發(fā)的軟硬件，才能應(yīng)對(duì)高節(jié)拍生產(chǎn)中的所有不確定性。雖然自主研發(fā)之路充滿挑戰(zhàn)，但對(duì)陪伴客戶全生命周期成長(zhǎng)，滿足客戶不同發(fā)展階段的柔性化升級(jí)需求，具有長(zhǎng)遠(yuǎn)價(jià)值。

目前，格創(chuàng)東智在AMHS領(lǐng)域目標(biāo)清晰，路徑明確，作為國(guó)內(nèi)AMHS自主研發(fā)的領(lǐng)軍企業(yè)，我們將持續(xù)投入于產(chǎn)品的精細(xì)化打磨、系統(tǒng)性能和穩(wěn)定性的提升，加速AMHS國(guó)產(chǎn)化替代目標(biāo)的實(shí)現(xiàn)。